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艾默生F系列质量流量计仅用于测量气体的质量流量
  • 发布日期:2017-07-21      浏览次数:366
    •      艾默生F系列质量流量计仅用于测量气体的质量流量。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。  
          艾默生F系列质量流量计用于测量气体的质量流量,其测量值不因压力或温度的波动而失准,不需要进行压力和温度修正。对于一般的体积流量计(如转子流量计),在相同的体积流量指示下,当压力、温度改变时,其实际克分子流量会发生较大变化,而艾默生F系列质量流量计则基本不受影响。  
          质量流量控制器不仅能测量气体的流量,具备流量计的功能,而且它还能控制流量,它本身具有检测控制电路和流量调节阀,是一个闭环控制单元。用户可以根据需要在量程范围内任意给定流量设定值,mfc会自动跟踪设定值而改变流量并稳定在设定值上。如果希望定量地获得流量,要求流量保持恒定或根据需要而动态改变,或需要自动测量 和控制流量,则质量流量控制器是zui佳的选择。  
          气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示,质量流量单位规定为:sccm---标准毫升/分,slm---标准升/分标准状态指:温度—0℃,气压—101325pa(760mmhg)。因为在标准状态下,气体的密度是一个常数,密度乘以体积流量就等于质量流量,所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。艾默生F系列质量流量计和质量流量控制器在使用过程中,无论工作气体的温度、压力如何变化,它所显示的流量总是标准状态下的体积流量。这是艾默生F系列质量流量计的主要优点。
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